ASMLが2030年までにチップ生産量を50％増加させるEUV光源の技術革新を達成

オランダの半導体企業ASMLの研究者らが、主要な半導体製造装置の光源の出力を高め、最大50％多くのチップを生産できるようにする方法を発見したことが分かりました。続きを読む……

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